Asml光刻机的零件包括：
1、高功率脉冲器：用于提供高功率脉冲来实现快速、准确的图形刻印。
2、复杂的光学元件：用于将脉冲器发出的光束进行整形、对焦和对准。
3、光学检测器：用于监测图形是否正确地刻印在物体上。
4、机械元件：包括丝杠导轨、伺服电机驱动装置及其它部件，用于将物体运动到正确位置并把图形刻印在上面。