压力传感器是一种测量外界压力的传感器，它可以将外界的压力变化转换为电信号。过去，大多数的压力传感器都是由机械元件组成，例如弹簧、活塞、阀门或者膜片等。这些机械元件能够将外界的物理变化转换为电信号。然而，随着微机电系统（MEMS）技术的发展，新一代的MEMS 压力传感器已开始应用于工业、农业、航天航空、医学诊断、生物分子分析以及各领域中。MEMS 压力传感器使用微小封装体来测量非常低的气体或者液体的相对气密性或者泄露情况。此外，MEMS 压力传感器还具有快速测量时间、容易集成在其它装置中以及准确性方面的显著优势。