MEMS陀螺仪传感器是一种基于微机电系统技术的传感器，它采用微/纳米技术，将微机电系统装置与电子线路集成到微小的硅片衬底上，通过检测振动机械元件上的哥氏加速度来实现对转动角速度的测量。MEMS陀螺仪主要包括角振动式、线振动式、振动环式及悬浮转子式四种类型。

目前，MEMS陀螺仪市场在经历了智能手机市场的爆发之后逐渐稳定，未来将在物联网的推动下迎来新一波需求高峰。目前集成MEMS陀螺仪的IMU的体积已经缩小到3mm 3mm 1mm左右，足够适用于绝大部分应用场景。