纳米材料的加工方法可以分为机械加工、化学腐蚀、能量束加工、复合加工、隧道扫描显微技术加工等多种方法。其中，机械加工方法有单晶金刚石刀具的超精密切削，金刚石砂轮和CBN砂轮的超精密磨削和镜面磨削、磨、砂带抛光等固定磨料工具的加工，研磨、抛光等自由磨料的加工等。化学腐蚀法是将材料放入含有腐蚀剂的溶液中进行腐蚀，以达到加工目的。能量束加工是利用高能粒子对材料进行加工和处理。复合加工是采用多种加工方法的复合作用。